三氯氫硅、多晶硅尾氣回收和處理技術。
現(xiàn)狀:據(jù)測算,1000噸多晶硅還原過程中將產生370萬Nm3氫氣,1350噸氯化氫、21600噸三氯氫硅和12000噸四氯化硅,如不回收利用,將造成資源的浪費和環(huán)境的污染。
預計效益:運用該技術回收上述物料,按目前市價計算每年可直接節(jié)約2.48億元費用,相當于每公斤多晶硅減少248元的成本。
我公司目前運用獨有技術對多晶硅尾氣回收投產成功,據(jù)了解在多晶硅尾氣回收技術國內此前一直使用國外的技術和設備。此項目的成功意味著國產化的開始,經濟效益明顯提高,降低生產成本。國內有其他公司進行相類似的技術研發(fā)和推廣。但只是理論上的技術,發(fā)展不完善。沒有工業(yè)裝置投產。